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分類清單
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半導體設備與製程教學實驗室

半導體設備與製程教學實驗室【MB03】

儀器設備 :

  • SEM掃描式電子顯微鏡
  • 濺鍍機(SP-I)一台
  • 濺鍍機(SP-II)一台
  • 電漿輔助化學氣相沉積設備(PECVD)一台
  • 真空幫浦二台、手套箱一台

援課程 : 製程與設備

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